真空设备按其工作原理的分类

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　　真空设备按其工作原理可分为机械真空泵、喷射泵、扩散泵、表面吸附泵四类：
　　1.机械真空泵：包括往复式真空泵和旋转式真空泵。旋转式真空泵又可分为水环式真空泵、油封式旋转真空泵、罗茨真空泵等。
　　2.喷射泵：包括水蒸气喷射泵、水力喷射泵等。
　　3.扩散泵：如油扩散泵等。
　　4.表面吸附泵：包括钛泵、分子筛吸附泵等。
 

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